1. Anwendungen
  2. Klimatisierung
  3. Prozesse klimatisieren Elektronikbranche

Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterproduktion

Punktuelle Luftentfeuchtung für jeden Verarbeitungsschritt

Prozessklimatisierung mit Adsorptionstrocknern wirtschaftlich umsetzen

Viele Verarbeitungsprozesse in der Produktion von Elektronikbauteilen und Halbleitern erfordern eine extrem trockene Luft – teilweise mit Taupunkten von weit unter 0 °C. Diese niedrigen Taupunkte können sehr gut mit leistungsstarken Adsorptionstrocknern erreicht werden, auch punktuell innerhalb einer Maschine.

Viele elektronische und elektromechanische Bauelemente reagieren hochempfindlich auf Feuchtigkeit. Bei zu hoher Luftfeuchtigkeit kann es in der Elektronik- und Halbleiterproduktion zu Problemen kommen wie Korrosion an den Leitungspunkten und Kondensation auf der Oberfläche von Mikrochips. Zudem sind einige chemische Stoffe sehr störanfällig: So kann zu hohe Luftfeuchtigkeit zu schlechter Haftung von Fotolacken führen, die wiederum zu Betriebsstörungen der Halbleiterbaugruppe führt. Viele dieser Prozesse müssen gezielt lokal und unabhängig von der Raumluft entfeuchtet werden. Mit den Adsorptionstrocknern der TTR-Serie sind punktuelle Entfeuchtungen realisierbar – u. a. auch durch gezieltes Zuführen von trockener Luft über Schläuche.

Die stationären und mobilen Adsorptionstrockner der TTR-Serie sorgen jeweils durch eine der drei Varianten des TTR-Funktionsprinzips für eine hohe Entfeuchtungsleistung bei gleichzeitig niedrigem Energieverbrauch. Für die punktuelle Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterindustrie eignen sich die mobilen Adsorptionstrockner TTR 400 D und TTR 500 D besonders gut. Zudem ist es möglich, mit unseren Montagezelten in Kombinationen mit Luftentfeuchtern geschlossene Klimazonen zu realisieren. Für die Prozessklimatisierung in größeren Räumen oder Fertigungsstraßen, in denen niedrige Taupunkte erreicht werden müssen, empfehlen wir Ihnen die stationären Adsorptionstrockner mit den Modellnummern TTR 800 bis 13500.

TTR 400 D und TTR 500 D erreichen extrem niedrige Taupunkte

Die beiden innovativen Adsorptionstrockner mit dem Kennzeichen „D“ für Duoventic-Luftmengenregulierung, TTR 400 D und TTR 500 D, erreichen die größtmögliche Flexibilität bei der Einstellung der erforderlichen Trockenluftmenge. Im Gegensatz zum konventionellen Durchluftbetrieb können mit diesen beiden mobilen Adsorptionstrocknern bis zu 30 °C tiefere Taupunkttemperaturen gegenüber der angesaugten Prozessluft erreicht werden. Dadurch lassen sich Taupunkte auch weit unter 0 °C und somit wesentlich tiefere Trocknungszustände sowie ein deutlich energieeffizienterer Betrieb erreichen! Niedrige Taupunkte im Minusbereich sind beispielsweise beim Zwischenlagern von elektronischen Bauteilen in Trockenschränken erforderlich, bevor sie weiteren Produktionsprozessen zugeführt werden können. Ein anderes Beispiel, bei dem extrem niedrige Taupunkte von weit unter -40 °C erreicht werden müssen, sind QS-Prüfstände in der Produktion von Hochleistungshalbleitern (IGBTs). Diese dürfen trotz der hohen Minusgrade nicht vereisen, was nur durch extreme Luftentfeuchtung gelingt.

Weitere Lösungen


Nutzen Sie unseren Best-Practice-Industrieservice

Nutzen Sie den Best-Practice-Industrieservice von Trotec

Weil jeder Industriebetrieb charakteristische Prozessabläufe, Anlagen und Räumlichkeiten hat, erfordert auch jede Luftbehandlungslösung eine fallspezifische Gerätekonfiguration. In der Summe lassen sich die kombinierten Auswirkungen von Luftströmen, Luftfeuchtigkeitsverhältnissen und Temperaturschwankungen auf rein theoretischer Basis oft nur schwer berechnen, beispielsweise in Schleusenbereichen oder auf Förderwegen. Die Folge: Unnötige zusätzliche Kosten durch zu hoch berechneten Bedarf oder – noch schlimmer – in der Praxis nicht ausreichend funktionierende Lösungen.

Mit unseren Experten können Sie rechnen

Um den Bedarf in der Industrie exakt zu berechnen und maßgeschneiderte Konzepte für die Klimakonditionierung zu entwickeln, braucht man erfahrene Klimaspezialisten. Vertrauen Sie unserem Expertenteam und den Dienst­leistungen des Industrie-Services: Wir analysieren gemeinsam mit Ihnen vor Ort die individuelle Bedarfssituation, ermitteln den spezifischen Gerätebedarf und erarbeiten eine maßgeschneiderte Projektlösung bis hin zur genauen Platzierung der Geräte.

Bevor die projektierten stationären Aggregate installiert werden, arbeitet unser Service-Team im Rahmen eines Probebetriebes zuerst mit mobilen Ausführungen der Trockner, die problemlos aufgestellt werden können, ohne dass bauliche Maßnahmen erforderlich sind.

Während dieser Validationsphase dokumentieren wir alle relevanten Klimaparameter wie Lufttemperatur, relative Luftfeuchtigkeit, Taupunkt oder Luftströmungsgeschwindigkeit zur finalen Optimierung der Bedarfsberechnung.

Nur Trotec bietet Ihnen diesen Vorteil:

Durch die einzigartige Möglichkeit eines unverbindlichen Probebetriebes investieren Sie ausschließlich in nachweislich bei Ihnen im Praxisbetrieb und für Ihren Bedarf perfekt funktionierende Lösungen! Erst wenn Sie unser Konzept überzeugt hat, werden die stationären Aggregate geordert. Für die Zeit der Probeaufstellung fällt lediglich eine günstige Mietpauschale an.

Unsere Industrieberater informieren Sie auch gerne persönlich unter Tel. +49 2452 962-777 über unseren Best-Practice-Industrieservice. Oder Sie stellen einfach direkt eine Anfrage mit Ihrem persönlichen Bedarf an unsere Industrieexperten. Wir antworten prompt!

Sie benötigen Adsorptionsluftentfeuchter in Sonderausführung?

Auf Wunsch produzieren wir auch maßgeschneiderte Adsorptionsluftentfeuchter als Sonderausführung

Gerne produzieren wir auf Wunsch auch maßgeschneiderte Adsorptionsluftentfeuchter als perfekt auf Ihren Bedarf abgestimmte Sonderausführung „made in Germany“, zum Beispiel:

  • TTR-Trocknungsaggregate in Hygieneausführung
  • TTR-Trocknungsaggregate für LABS-freie Trockenluft
  • TTR-Trocknungsaggregate mit extrem tiefen Taupunkt

Nutzen Sie die Möglichkeit, Sonderausführungen mit speziell ange­passten Komponenten für Ihren individuellen Bedarf in enger Abstim­mung mit unseren Spezialisten planen, konstruieren und anfertigen zu lassen: Hier erfahren Sie mehr …

Luftentfeuchter bei der Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterproduktion

Weitere Anwendungsbeispiele zur Klimatisierung

  • Archive & Museen

    Ob Ausstellung oder Aufbewahrung – für private und öffentliche Museen, Sammlungen, Bibliotheken oder Archive gilt gleichermaßen: Raumklima und Luftqualität sind die bedeutendsten Faktoren zum Erhalt ihrer wertvollen Exponate oder Archivarien.

    Weitere Informationen
  • Klimatisierung in der Geflügelzucht

    Ab einer Temperatur von 10 Grad Celsius lässt die Legeleistung von Hennen erheblich nach. Auch in der Hähnchenmast dürfen die Temperaturen in der kalten Jahreszeit nicht allzu sehr absinken. Denn nicht alle Rassen sind so robust, dass sie einen Temperatursturz im Stall überstehen können. Daher sollten Landwirte gerüstet sein und ein Heizsystem zur Hand haben, um ihren Tieren auch im Winter...

    Weitere Informationen
  • Konditionierung beim Frosten

    Wo gefrostet wird, fließt Wasser. Beim Frosten von Waren spielt deshalb die Luftentfeuchtung in der Klimakonditionierung auch eine große Rolle. Die Trotec Group liefert der Transport- und Logistikbranche leistungsstarke Industrieentfeuchter für diese Aufgabe. Zudem können Sie sich auf die Berechnungen unserer Klimaspezialisten verlassen, die die Konzeption für Sie übernehmen.

    Weitere Informationen
  • Konditionierung Kühllogistik

    In der Klimakonditionierung der Kühllogistik wird mit Luftentfeuchtern der Taupunkt abgesenkt, damit sich kein Kondenswasser bildet. Die Trotec Group liefert Ihnen für sämtliche Anforderungen passende Geräte. Es stehen mobile oder stationäre Lösungen mit Kondens- oder Adsorptionstechnologie zur Verfügung.

    Weitere Informationen
  • Prozesse klimatisieren in der Industrie

    Bei der Prozessklimatisierung in der Industrie kommen oft Konzepte mit stationärer bzw. mobiler Luftentfeuchtung zum Einsatz. Häufig ist lokal in Maschinen, Anlagen oder einzelnen Arbeitsprozessen trockenere Luft erforderlich – konstant und unabhängig von den Umgebungsbedingungen. Bei der Trotec Group finden Industriekunden dafür leistungsstarke Adsorptionstrockner.

    Weitere Informationen
  • Lösungen für die Notkühlung

    Fällt die stationäre Klimaanlage zur Kühlung von Gewerbe- und Industrieräumen infolge einer Betriebsstörung oder einer unvorhergesehen längeren Wartungsdauer aus, können kostspielige Produktionsunterbrechungen die Folge sein. Mit den mobilen Klimageräten der PT-Serie von TKL können Sie im Notfall schnellstens für eine unterbrechungsfreie Kälteversorgung sorgen.

    Weitere Informationen
  • Lösungen für die Eventkühlung

    Eine Vielzahl von Veranstaltungen lockt vor allem in der wärmeren Jahreszeit zahlreiche Besucher in Festzelte und Hallen, in Messe- und Tagungszelte oder in stimmungsvolle Locations wie alte Industriegebäude. Doch dabei sollten weder Ihre Gäste außerplanmäßig ins Schwitzen geraten, noch die Mitarbeiter hinter den Kulissen in ihren Ruhe- und Arbeitsräumen, etwa für Technik und Catering.

    Weitere Informationen